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귀금속 소재

LT 메탈 연구소는 금속 소재 관련해서 다양한 연구를 하고 있습니다.

반도체용 금속 타켓

개요 반도체용 금속 타겟은 반도체 소자 내 전극, 배선,
시드 및 전자파 차폐 용도로 활용되는 금속 박막용 소재.
연구분야 Au, Pt, Ru, W, Ir , Cu계 등 귀금속 타겟,
고윰점 금속 타겟, 이형상 타겟, 장수명 타겟.

OLED용 금속 타겟

개요 OLED용 금속 타겟은 반사막 또는 전자파 차폐용도로
활용되는금속 박막용 소재.
연구분야 Ag, Ag합금 등 귀금속 타겟,
귀금속 절감형 타겟, 장수명 타겟.